<> "The repository administrator has not yet configured an RDF license."^^ . <> . . . "PREPARASI DAN KARAKTERISTISI LAPISAN TIPIS TITANIUM\r\nNITRIDA (TiN) PADA SUBSTRAT KACA HASIL DARI METODE\r\nSPUTTERING DC"^^ . "Penelitian ini bertujuan untuk membuat lapisan tipis TiN pada substrat kaca\r\nmenggunakan metode sputtering DC. Selain itu, untuk mengetahui pengaruh variasi\r\nlama waktu deposisi lapisan tipis TiN hasil preparasi terhadap sifat optik berupa\r\nband gap menggunakan UV-Vis, morfologi dan komposisi kimia menggunakan\r\nSEM-EDS, dan struktur kristal menggunakan X-RD.\r\nPenelitian ini dimulai dengan membuat lapisan tipis dari paduan Titanium\r\ndan Nitrogen pada substrat kaca dengan menerapkan metode sputtering DC.\r\nPreparasi tersebut dilakukan sebanyak tiga kali dengan memvariasi waktu\r\npendeposisian selama 30, 60, dan 90 menit. Pada saat proses sputtering berlangsung\r\nparameter yang lain dibuat tetap seperti pada tegangan dijaga berkisar 4 kV, kuat\r\narus berkisar 10 mA, tekanan vakum sebesar (1,9 – 2,2) x10-2 torr, perbandingan\r\nantara gas Argon dan Nitrogen yang mengalir sebesar 70:30, dan jarak target\r\ndengan substrat sejauh 4 cm.\r\nMetode sputtering DC dapat digunakan untuk membuat lapisan tipis TiN.\r\nHasil uji UV-Vis diolah dengan software Origin didapatkan band gap untuk waktu\r\ndeposisi 30 menit sebesar 3,47 eV, waktu deposisi 60 menit sebesar 3,59 eV, dan\r\nwaktu deposisi 90 menit sebesar 3,68 eV. Uji SEM-EDS dikenai pada sampel waktu\r\ndeposisi 60 menit. Hasil uji SEM terlihat batas-batas butir pada permukaan sampel\r\ndan pada penampang melintang didapatkan ketebalan lapisan yang terbentuk\r\nsebesar 1,588 μm. Hasil uji EDS didapatkan presentase berat Ti sebesar 13,6%, N\r\nsebesar 51,8%, dan Si sebesar 34,6%. Hasil uji XRD lapisan TiN yang terbentuk\r\npada substrat kaca masih terlalu tipis, sehingga sinar-X menembus lapisan dan\r\nmengenai substrat kaca yang bersifat amorf."^^ . "2018-07-19" . . . "FMIPA"^^ . . . "Fisika, FMIPA"^^ . . . . . . . . . . . . "Nurfitriyana Ramadhani"^^ . "Isnuwati"^^ . "Nurfitriyana Ramadhani Isnuwati"^^ . . "Tjipto"^^ . "Sujito"^^ . "Tjipto Sujito"^^ . . . . . . "PREPARASI DAN KARAKTERISTISI LAPISAN TIPIS TITANIUM\r\nNITRIDA (TiN) PADA SUBSTRAT KACA HASIL DARI METODE\r\nSPUTTERING DC (Text)"^^ . . . "SKRIPSI LENGKAP.pdf"^^ . . . "PREPARASI DAN KARAKTERISTISI LAPISAN TIPIS TITANIUM\r\nNITRIDA (TiN) PADA SUBSTRAT KACA HASIL DARI METODE\r\nSPUTTERING DC (Other)"^^ . . . . . . "indexcodes.txt"^^ . . . "PREPARASI DAN KARAKTERISTISI LAPISAN TIPIS TITANIUM\r\nNITRIDA (TiN) PADA SUBSTRAT KACA HASIL DARI METODE\r\nSPUTTERING DC (Other)"^^ . . . . . . "lightbox.jpg"^^ . . . "PREPARASI DAN KARAKTERISTISI LAPISAN TIPIS TITANIUM\r\nNITRIDA (TiN) PADA SUBSTRAT KACA HASIL DARI METODE\r\nSPUTTERING DC (Other)"^^ . . . . . . "preview.jpg"^^ . . . "PREPARASI DAN KARAKTERISTISI LAPISAN TIPIS TITANIUM\r\nNITRIDA (TiN) PADA SUBSTRAT KACA HASIL DARI METODE\r\nSPUTTERING DC (Other)"^^ . . . . . . "medium.jpg"^^ . . . "PREPARASI DAN KARAKTERISTISI LAPISAN TIPIS TITANIUM\r\nNITRIDA (TiN) PADA SUBSTRAT KACA HASIL DARI METODE\r\nSPUTTERING DC (Other)"^^ . . . . . . "small.jpg"^^ . . "HTML Summary of #57997 \n\nPREPARASI DAN KARAKTERISTISI LAPISAN TIPIS TITANIUM \nNITRIDA (TiN) PADA SUBSTRAT KACA HASIL DARI METODE \nSPUTTERING DC\n\n" . "text/html" . . . "Fisika"@en . .