TY - UNPB UR - http://eprints.uny.ac.id/14568/ M1 - skripsi N2 - Penelitian ini bertujuan untuk menumbuhkan lapisan tipis Sn(Se?,?S?,?) dengan metode evaporasi. Peneliti dapat mengetahui pengaruh variasi spacer terhadap struktur, parameter kristal, morfologi permukaan, dan komposisi kimia lapisan tipis Sn(Se?,?S?,?). Proses preparasi lapisan tipis Sn(Se?,?S?,?) dilakukan dengan menggunakan metode evaporasi yang bekerja pada tekanan sekitar 2 x 10-5 mbar. Proses pendeposisian lapisan tipis Sn(Se?,?S?,?) dilakukan dengan memberikan spacer antara substrat dengan sumber yaitu 25 cm, 15 cm, dan 10 cm. Proses karakterisasi dilakukan menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) untuk menentukan struktur dan parameter kisi lapisan tipis, Scanning Electron Microscopy (SEM) untuk menentukan morfologi permukaan lapisan tipis dan Energy Dispersive Analysis X-Ray (EDAX) untuk menentukan komposisi lapisan tipis. Hasil karakterisasi XRD menunjukkan bahwa lapisan tipis Sn(Se?,?S?,?) merupakan polikristal dan memiliki struktur kristal orthorombik, dengan nilai parameter kisi sampel 1 (spacer 25 cm): a = 4,306 Å, b = 11,30 Å, c = 4,139 Å; sampel 2 (spacer 15 cm): a = 4,286 Å, b = 11,18 Å, c = 4,123 Å; sampel 3 (spacer 10 cm): a = 4,301 Å, b = 11,30 Å, c = 4,143 Å. Hasil karakterisasi SEM pada Sn(Se?,?S?,?) sampel 2 menunjukkan bahwa morfologi permukaan sampel terdiri atas butiran/grain berbentuk keping lonjong, dengan ukuran diameter butiran pada permukaan kristal sekitar 0,3 µm - 0,5 µm dan homogen. Hasil analisis EDAX, kristal Sn(Se?,?S?,?) menunjukkan perbandingan persentase komposisi kimia lapisan tipis yaitu 1 : 0,11 : 0,79. A1 - Utomo, Joko TI - STRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA BAHAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se0,2S0,8) LAPISAN TIPIS HASIL PREPARASI TEKNIK VAKUM EVAPORASI UNTUK APLIKASI SEL SURYA PB - Universitas Negeri Yogyakarta AV - public ID - UNY14568 Y1 - 2014/07/11/ ER -